충북도, 반도체 핵심 소재 포토레지스트 분야 세계 1위 JSR와 투자 협약

- 오창 외국인투자지역 내 반도체용 포토레지스트 생산공장 신설 투자 -

충청북도는 29일 도청에서 충청북도, 청주시, 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜와 오창 외국인투자지역 내 반도체용 포토레지스트 생산공장 신설 투자협약을 체결했다.

이번 투자협약은 오창 외국인투자지역 내 2,000㎡(605평) 부지에 2024년부터 2026년까지 3년간 반도체용 EUV(극자외선) 포토레지스트 생산공장 신설 투자와 충북도 및 청주시의 행정적 지원에 관한 내용을 담고 있으며, 특히 올해 4월 충청북도 투자유치대표단이 일본 JSR 본사를 방문, 단장인 김명규 경제부지사가 Eric CEO 겸 사장에게 직접 투자를 요청한 결과이다.

JSR마이크로코리아㈜가 투자하는 EUV용 포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하도록 도포하는 화학물질로, 반도체 핵심소재 품목 중 하나이다.

특히, EUV용 무기포토레지스트인 MOR(Metal oxide resist)는 기존 유기물 대비 빛 흡수율이 높은 초미세 반도체 공정의 차세대 핵심 기술로, 충북의 반도체 산업 공급망 안정화에 기여할 것으로 평가받는다.

JSR마이크로코리아㈜는 세계적인 반도체 소재 제조사인 일본 JSR주식회사의 기술과 자본이 투입돼 설립된 100% 외국인 투자기업이다.

JSR주식회사는 1957년에 설립된 회사로 반도체 및 디스플레이 재료, 합성수지, 의약소재 등을 개발·제조하고 있으며, 특히 반도체 소재로서 ArF 포토레지스트, 다층재료, 도금용 후막 포토레지스트, 디스플레이 재료로서 배향막, 절연막 분야에서는 세계 시장 최고 수준의 점유율을 기록하고 있다.

JSR마이크로코리아㈜는 2003년 충청북도 청주시 오창에 설립되어 평판 디스플레이용 소재 생산에서 축적된 기술력을 바탕으로 성장해 왔다.

이번 추가 투자를 통해 주요 고객사인 SK하이닉스와 삼성전자 등에 고품질, 고성능 반도체용 포토레지스트를 안정적으로 공급할 계획이다.