- MEMS 공정 지원 장비 신규 구축, 기술 지원, 인력 양성 등

- 고용유발효과 3천여명, 글로벌 강소기업 3곳 육성 기대

광주광역시는 2020년 산업통상자원부 산업혁신기반구축사업 공모에 ‘MEMS기반 고부가 광반도체 상용화 인프라 구축사업’이 선정돼 사업을 본격 추진한다고 29일 밝혔다.

                                                                       사진/광주광역시

초소형 정밀기계기술인 MEMS(Micro-Electro Machanical Systems)는 기존 광부품 제조기술에 MEMS공정을 접목한 5G용 광파장분할다중화(WDM)·광스위칭 소자 및 각종 센서 등 고부가 광반도체 생산의 핵심기술로, 자율주행자동차, 인공지능(AI) 등 광기술 연계 융합산업으로 성장 가능성이 높은 첨단기술이다.

※ WDM(Wavelength Division Multiplexing) : 광파장분할다중화

올해부터 3년간 총 99억원(국비 69억, 시비 30억)을 투입해 MEMS기반 광반도체 핵심부품소재 개발 장비 구축, 시생산 기업지원 등으로 광반도체 세계시장 선점과 글로벌 강소기업 및 광융합 신산업 육성에 주력할 계획이다.

한국생산기술연구원, 한국광산업진흥회와 함께 ▲MEMS기반 광반도체 핵심 공정 및 성능평가 신규장비 구축 10종 ▲ 시제품 제작 및 시생산 지원, 기술사업화, 공정기술 실증, 전문인력 양성 등 기업지원 ▲산학연관 협력 네트워킹 지원 등을 추진한다.

광주시는 이번 사업으로 3000여명의 고용유발효과 및 매출 증대, 광반도체 글로벌 강소기업 3곳 육성, 고부가가치 광반도체 분야로의 제품 다변화 및 업종 전환을 통한 기업 경쟁력 제고 등 광융합산업의 괄목할만한 성장을 기대하고 있다.

또, MEMS 공정 핵심장비가 없어 지역기업이 시제품제작을 위해 타지역으로 이동하면서 발생했던 웨이퍼 불량률을 낮추는 등 기업 애로사항 해결로 신속한 기업 지원이 가능하게 된다.

※ 웨이퍼(wafer) : 실리콘 표면에 반도체 공정을 통해 칩이 형성된 얇은 판